零件經真空熱處理后，畸變小，質量高，且工藝本身操作靈活，無公害。因此真空熱處理不僅是某些特殊合金熱處理的必要手段，而且在一般工程用鋼的熱處理中也獲得應用，特別是工具、模具和精密耦件等，經真空熱處理后使用壽命較一般熱處理有較大的提高。

1、真空熱處理爐是近年來得到較大發展的先進熱處理設備，工件是在超低氣壓的空間里進行加熱和冷卻的。它具有質量好、節能、安全和污染少等優點。

2、真空爐的發熱體用低壓電，但電源電壓仍為380V，操作時仍需要安全用電。

3、真空爐制造時，應確保不漏氣、不漏水。真空爐爐體和爐蓋等的密封是用橡膠件，因此需要用水隔層進行冷卻。若水漏到爐膛里時，爐膛溫度很高，會引起爆炸。真空爐處理的工件，應清洗凈表面油污，同時避免淬火油槽的油蒸氣進入爐膛。這些油蒸氣和空氣混合后將形成爆炸氣氛，一旦有明火或通電時就會產生爆炸。所以真空爐裝料后應關閉爐門，將爐膛抽成真空后，方可通電加熱。