真空氣體淬火熱處理的零件具有無氧化，無脫碳、脫氣、脫脂，表面質量好，變形小，綜合力學性能高，可靠性好等一系列優點。大多數工模具鋼目前都采用真空氣體淬火熱處理工藝以使工件表面和內部都獲得滿意的力學性能。

真空氣體淬火就是將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體（如氮氣）進行冷卻。適用于真空氣體淬火熱處理工藝的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。如由Cr12MoV冷作模具鋼制造的零件可以通過真空氣體淬火等工藝獲得需要的組織及其力學性能。

對于真空氣體淬火熱處理后零件的技術要求一般包括表面硬度、心部硬度、心部組織等。如Cr12MoV冷作模具鋼制造的零件經過真空氣體淬火熱處理工藝后，采用4%HNO3-C2H5OH和5%HNO3-H2O溶液侵蝕其磨制拋光好的試樣都可以進行共晶碳化物不均勻度的評定。

經對比試驗（圖1、圖2），采用5%的HNO3-H2O溶液適度侵蝕，襯度更明顯，更利于準確評定共晶碳化物分布的不均勻性。其原因是：（一）浸蝕劑的浸蝕能力是用熱力學函數—電化學電位來進行描述的，HNO3溶液的電位隨濃度的增加而明顯上升；（二） 酸性浸蝕劑的電位與溶劑介電常數關系很密切， 特別是HNO3：以水作溶劑時介電常數約80，電位可達700mv ；而以C2H5OH作溶劑時, 介電常數約40，電位只有500mv 左右?？梢姡芤旱慕g能力強。

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