在滲碳熱處理過程中最后的30-60分鐘通入氨氣不能減輕工件表層的內氧化，但能減輕非馬組織。滲碳內氧化是氣體滲碳常見的熱處理缺陷之一，這種晶間氧化在后續的淬火過程中不能得到馬氏體組織，稱為非馬組織，表面這種不良組織會引起零件的早期失效，在實際生產中，為減輕非馬組織的出現，一般在滲碳過程的后30-60min通入氨氣，在零件表層增加氮原子，氮原子的滲入使表面奧氏體中含氮量增加，降低了Ms點，C曲線右移，表面原本難以得到馬氏體的區域，易于得到含氮馬氏體，從而減少了非馬組織的出現。