工件滲碳熱處理后，需要檢查的熱處理組織有：內氧化、非馬組織、馬氏體、殘余奧氏體、碳化物、心部鐵素體。如何正確的腐蝕試樣，將直接影響對滲碳熱處理組織的判斷。

對于滲碳熱處理工件，通常采用的腐蝕方法為化學腐蝕，是將拋光好的樣品磨光面在化學腐蝕劑中腐蝕一定時間，從而顯示出其試樣的組織形貌。4%硝酸酒精是顯示滲碳熱處理金相組織最常用化學腐蝕試劑。其操作方法是：將已拋光好的試樣用水沖洗干凈或用酒精擦掉表面殘留的臟物，然后用膠頭滴管吸取腐蝕劑，迅速滴在滲碳樣件拋光面上，拋光的磨面即逐漸失去光澤；待試樣腐蝕合適后馬上用酒精沖洗干凈，用吹風機吹干試樣磨面，即可放在顯微鏡下觀察。

滲碳熱處理試樣腐蝕的深淺程度主要根據要觀察的組織來確定，滲碳熱處理試樣腐蝕遵循以下原則：觀察內氧化在拋光后直接金相測量；表面非馬組織腐蝕3-5秒；觀察馬氏體、奧氏體、鐵素體腐蝕7-15秒；觀察碳化物進行重腐蝕15-25秒。

化學腐蝕原理：單相組織的腐蝕是一個化學溶解的過程。由于晶界上原子排列不規則，具有較高自由能，所以晶界易受腐蝕而呈凹溝，使組織顯示出來，在顯微鏡下可以看到多邊形的晶粒。兩相合金的腐蝕主要是一個電化學腐蝕過程。兩個組成相具有不同的電極電位，在腐蝕劑中，形成極多微小的局部電池。具有較高負電位的一相成為陽極，被溶入電解液中而逐漸凹下去；具有較高正電位的另一相為陰極，保持原來的平面高度。從而在顯微鏡下可清楚地顯示出各相組織。 

熱處理工件表面組織  500×                               滲碳熱處理工件心部組織  500×

 滲碳熱處理后的組織檢查，首先要做好對試樣的磨拋和腐蝕，如操作不當，試樣會造成假相，對產品進行誤判。 一個合格的熱處理金相檢查員，必須練好此項基本功。