防止熱處理變形的途徑主要是緩冷、緩熱。加熱速度太快，會出現急熱熱應力而引起變形。因此加熱應力求均勻。放慢加熱速度，采用多次預熱能收到良好效果。

在高頻淬火中，一般地說，加熱時間較短，加熱層較淺，因而產生的歪扭少。若采用預先整體預熱，適當地選擇加熱溫度分布也是有效的。

另外，還應注意防止預熱時產生的自重扭曲以及氧化、脫碳等現象發生。