通常離子氮化爐經過長時間的使用磨損之后，會出現一定的漏氣現象。輕微漏氣不會影響正常的工件氮化質量，而嚴重漏氣的話必然會影響工件氮化處理的質量，需要我們進行檢測漏氣位置，以及維修。下面是青島豐東熱處理整理的離子氮化爐漏氣的檢測方法。

真空設備的檢漏一般采用"分段"檢查的辦法，即一段一段的檢查。

第一步：首先將離子氮化爐體與供氣系統分離，目的是分清漏氣是由爐體造成的還是由供氣系統造成的。將進氣管與鐘罩分離，然后將進氣接頭處封死(可使用我所提供的專用堵頭或真空封泥)。啟動真空泵抽真空，抽到較高真空度(如30Pa左右或更高)后，關閉蝶閥，停頓一段時間(15-30分鐘)后，觀察設備的漏氣情況。

第二步：在完成第一步工作后，若離子氮化爐體漏氣，則應逐個檢查可能產生漏氣的各密封部位(包括觀察窗，充氣裝置，鐘罩下部密封法蘭面，底盤上的大密封圈，測壓部分密封處，陰極部位密封處，蝶閥及抽氣管道之間的聯結法蘭面等)，直至離子氮化爐體基本不漏氣為止。注意：在實施以下檢查步驟時，要遵循"分段"檢查法的原則，即一個步驟一個步驟進行，每完成一個檢查步驟后，抽真空觀察檢查效果，如果漏氣問題得以解決，則不再進行其它檢查。否則，再依次做檢查(檢查步驟可亂序進行。)

1，檢查觀察窗的玻璃視鏡是否破裂，若破裂則應予以更換。

2，檢查觀察窗上緊固玻璃視鏡的內六角螺釘是否松動，若有松動情況，則應予以緊固，但一定要對稱均勻緊固，且用力不得過大，以免壓碎玻璃。

3，檢查觀察窗內外密封圈(白色)是否老化，若老化，則需更換新密封圈。

4，卸掉離子氮化爐體底座上的自動充氣裝置，用沾汽油的干凈抹布除去密封橡皮和充氣密封面上的灰渣，重新照原樣安裝好。

5，檢查爐體底盤上測壓處的密封情況，緊固螺母若有松動予以緊固，若密封圈損壞應更換。

6，檢查陰極部位的密封情況，緊固螺母若有松動予以緊固，若密封圈損壞應更換。

7，檢查離子氮化爐體鐘罩底部密封法蘭面，如有銹跡，凹坑等損傷應及時處理。(注意：每次吊起鐘罩后，應放置于橡皮板，木方或其它柔軟的支撐物上，以防損傷密封法蘭面。)

8，檢查離子氮化爐體底盤上的大密封圈，如有損壞應及時修理或更換。(注意：每次吊起鐘罩后，再次罩上鐘罩前，先用干凈毛刷將底盤及大密封圈上的灰渣除凈，然后用沾汽油的干凈抹布擦去密封法蘭面及大密封圈上的灰渣，以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏氣。)

9，檢查抽氣硬彎管各聯結法蘭面的緊固情況，若有松動，應均勻緊固。若密封圈損壞，應及時更換。

10，檢查碟閥內密封圈上是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成蝶閥管不死而漏氣。發現存有此種情況，應及時用沾汽油的干凈抹布清理干凈，然后涂上真空脂。注意：清理蝶閥密封圈時，切忌用汽油浸泡密封圈，否則密封圈漲大，蝶閥將無法開關。

第三步：在完成第一步的工作后，若離子氮化爐體不漏氣，說明爐體各個密封部位完好。接著再慢慢地打開蝶閥，此時可能出現以下兩種情況。

1，真空度在打開蝶閥的瞬間有一微小的下降，但其后不再繼續下降(即壓升率在設備規定的范圍內或壓升率在工藝許可的范圍內)，則說明不銹鋼抽氣軟管，電磁閥及其連接部位完好。

2，如果真空度在打開蝶閥后持續下降，則說明電磁真空帶充氣閥，抽氣不銹鋼波紋軟管或軟管兩端的連接密封部位可能漏氣。出現這種情況，可按以下程序檢漏。

(1)首先檢查波紋管兩端的密封部位，若密封法蘭松動應均勻緊固，若密封圈損壞應及時更換。

(2)然后檢查電磁閥內的密封圈是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成漏氣。發現存有此種情況，可用沾汽油的干凈抹布將灰渣清理干凈。

(3)最后再檢查波紋軟管。檢查可采用密封加壓(壓力為0。1MPa)的方法進行，加壓后管體分段浸入水中，觀察漏氣部位。(加壓時應避免波紋管伸長)。

第四步：在完成前三步工作，已解決離子氮化爐體漏氣問題或確認漏氣不是由爐體引起后，重新將第一步中與離子氮化爐體脫離的進氣管連接到爐體鐘罩上(并保證接頭處密封完好)，先關死各流量計，再啟動真空泵對爐體抽真空。此步驟的目的是檢查供氣系統的漏氣情況。若發現設備又存在漏氣，可檢查進氣接頭部分，氣管，各種氣源流量匯流三通各連接處的密封情況，直至漏氣問題排除。

(1)檢查進氣管與進氣接頭和流量計出口接頭處的密封情況，若懷疑漏氣，接頭處可用真空封泥密封。

(2)檢查流量計能否關死。辦法是堵死流量計的進口端，比較堵死與僅關閉流量計的漏氣差異。如流量計關不死則需維修或更換。

(3)檢查輸氨軟管是否漏氣，若發現老化漏氣，應予更換。通常，完成上述幾個步驟的檢查后，離子氮化爐體的漏氣問題是可以解決的。