量具用鋼的熱處理關鍵是要保證量具具有高的尺寸穩定性。淬火應力的松弛，馬氏體的分解，殘留奧氏體的轉變，是引起量具在保存和使用過程中尺寸變化的因素。因此，一般量具熱處理的特點是：淬火后進行深冷處理（溫度在-50~-80℃），使殘留奧氏體轉變為馬氏體，然后低溫回火(150~160℃)，以減少淬火應力，保證較高的硬度，并使淬火馬氏體轉變為回火馬氏體。為使量具尺寸進一步穩定，在精磨后再進行一次時效處理。

量具鋼熱處理的主要特點是在保持高硬度與高耐磨性的前提下，盡量采取各種措施，使量具在長期使用中保持尺寸穩定。量具在使用過程中隨時間延長而發生尺寸變化的現象稱為量具的時效效應。這是因為：

1)用于制造量具的過共析鋼，在淬火后含有一定數量殘留奧氏體，殘留奧氏體變為馬氏體引起體積膨脹。

2)量具鋼中馬氏體在使用中繼續分解，正方度降低引起體積收縮。

3)殘余內應力的存在和重新分布，使彈性變形部分地轉變為塑性變形，引起尺寸變化。

因此，在量具的熱處理加工中，應針對上述原因采用如下熱處理措施：

1)調質處理。其目的是獲得回火索氏體組織，以減少淬火變形和降低機械加工的表面粗糙度。

2)淬火和低溫回火。量具鋼為過共析鋼。通常采用不完全淬火加低溫回火處理，在保證硬度的前提下，盡量降低淬火溫度并進行預熱，以減少加熱和冷卻過程中的溫差及淬火應力。量具的淬火方式為油冷(20~30℃)，不宜采用分級淬火和等溫淬火。只有在特殊情況下才予以考慮。一般采用低溫回火，回火溫度為150~160℃，回火時間不應小于4~5h。

3)冷處理。高精度量具在淬火后必須進行冷處理。以減少殘留奧氏體量。從而增加尺寸穩定性。溫度一般為-70~~80℃，并在淬火冷卻到室溫后立即進行，以免殘留奧氏體發生陳化穩定。

4)時效處理。為了進一步提高尺寸穩定性，淬火、回火后，再于120~150℃進行24~36h時效處理，這樣可消除殘余內應力，大大增加尺寸穩定性而不降低其硬度。

量具鋼熱處理時，除進行一段過共析鋼的正常熱處理（不完全淬火+低溫回火）之外，還需要有三個附加熱處理工序，即淬火前進行調質處理、正常淬火處理之間的、正常熱處理后的時效處理。