氣體滲氮時，零件表面光潔度對滲氮層質量有一定影響，光潔度高的其滲氮層較薄。而離子滲氮時則影響很小。38CrMoAlA鋼不同表面光潔度時，在540℃離子滲氮9小時后的硬度、深度及化合物層厚度數據。

可以看出，不同表面光潔度對滲氮后的硬度、深度均無影響，而僅僅影響化合物層的厚度。光潔度高的，化合物層較厚。X光衍射分析也證實了這一點，光潔度高的其ε相的衍射峰比光潔度低的明顯增高。

由于濺射作用，離子滲氮后零件表面光潔度稍有下降。長時間離子滲氮后用手摸有不光滑的感覺。38CrMoAlA鋼經540℃*10小時+580℃*10小時離子滲氮后，表面不平度由原來的0.45~0.50微米增大到0.58~0.65微米。

由于離子氮化法利用了離子化了的氣體濺射作用，因而與以往的氮化處理相比可顯著的縮短處理時間（離子氮化的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5）。

將滲氮作為最后一道工序的零件，表面最好進行一次拋光處理。去除由于打弧和陰極濺射凝附在零件表面的一些小顆粒，以防止滲氮件在與軟接觸面配合時造成不必要的擦傷。

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