氮化處理是零件制造過程中的最后一道工序，工件氮化后只進行精磨或研磨加工。

為了保證心部有良好的綜合機械性能，消除加工應力，減小氮化變形以及為氮化做好組織準備，工件在氮化前一般都要進行預備熱處理。

結構鋼氮化前常用的預備熱處理是調質處理，以獲得回火索氏體組織。

氮化件調質處理工藝對氮化質量有很大的影響。

例如38CrMoAlA氮化鋼，由于含鋁的鐵素體穩定性高，加熱時不容易溶入奧氏體中，如果淬火保溫的時間不夠或溫度太低，都會使鐵素體不能完全溶入奧氏體中，調質后有游離鐵素體存在。

由于氮在鐵素體中的擴散速度較大，該處在氮化后就會有較高的氮濃度，易形成針狀氮化物，使氮化層脆性增大，容易剝落。因此調質后，表面層不允許出現游離鐵素體，心部游離鐵素體量不允許超過5%。相反，如果淬火溫度過高，淬火后晶粒變粗，氮化物優先沿晶界伸展，氮化后出現波紋狀或網狀組織，也使氮化層脆性增大。

低可決定基體中碳化物的彌散度。

回火溫度太高，基體中碳化物彌散度減小，氮化件心部強度、硬度不足，不能起支撐硬而脆的氮化層的作用。在外力作用下，尤其在較大接觸應力作用下，往往會導致壓碎或剝落，使零件過早失效。

回火溫度過低，心部強度、硬度過高，零件預備熱處理后切削加工較困難。另外還會降低氮化速度。所以，適當的選擇回火溫度，以調整碳化物的彌散度，使它既能使滲層和心部有較好的性能，又可得到一定的滲速。

38CrMoAlA鋼由于含有鉬和較高的鋁，在加熱時脫碳嚴重，脫碳層將導致氮化層脆性增加和硬度降低，所以38CrMoAlA鋼氮化件的調質淬火，最好在有保護氣氛的爐內加熱，不得已時，工件應留有較大的加工余量，以保證機械加工時能將脫碳層全部加工掉。

對于形狀復雜、尺寸穩定性及變形量要求很嚴的零件，在機械加工、粗磨后要酌情進行穩定化處理，更好的消除機械加工產生的內應力，以保證氮化處理變形量最小，組織穩定，穩定化處理溫度應低于調質回火溫度，以免降低基體的強度；保溫時間一般為4～6小時。

不銹鋼、耐熱鋼在氮化前也要進行特殊的熱處理。因為這些鋼的原材料組織中往往有帶狀偏析和雙晶存在，而且一般晶粒較大，影響氮化后的質量。