精密復雜模具的變形原因往往是復雜的，但是我們只要掌握其變形規律，分析其產生的原因，采用不同的方法進行預防模具的熱處理變形是能夠減少的，也是能夠控制的。一般來說，對精密復雜模具的熱處理變形可采取以下方法預防。

1、合理選材。對精密復雜模具應選擇材質好的微變形模具鋼（如空淬鋼），對碳化物偏析嚴重的模具鋼應進行合理鍛造并進行調質熱處理，對較大和無法鍛造模具鋼可進行固溶雙細化熱處理。

2、模具結構設計要合理，厚薄不要太懸殊，形狀要對稱，對于變形較大模具要掌握變形規律，預留加工余量，對于大型、精密復雜模具可采用組合結構。

3、精密復雜模具要進行預先熱處理，消除機械加工過程中產生的殘余應力。

4、合理選擇加熱溫度，控制加熱速度，對于精密復雜模具可采取緩慢加熱、預熱和其他均衡加熱的方法來減少模具熱處理變形。

5、在保證模具硬度的前提下，盡量采用預冷、分級冷卻淬火或溫淬火工藝。

6、對精密復雜模具，在條件許可的情況下，盡量采用真空加熱淬火和淬火后的深冷處理。

7、對一些精密復雜的模具可采用預先熱處理、時效熱處理、調質氮化熱處理來控制模具的精度。

8、在修補模具砂眼、氣孔、磨損等缺陷時，選用冷焊機等熱影響小的修復設備以避免修補過程中變形的產生。

另外，正確的熱處理工藝操作（如堵孔、綁孔、機械固定、適宜的加熱方法、正確選擇模具的冷卻方向和在冷卻介質中的運動方向等）和合理的回火熱處理工藝也是減少精密復雜模具變形的有效措施。

表面淬火回火熱處理通常用感應加熱或火焰加熱的方式進行。主要技術參數是表面硬度、局部硬度和有效硬化層深度。硬度檢測可采用維氏硬度計，也可采用洛氏或表面洛氏硬度計。試驗力（標尺）的選擇與有效硬化層深度和工件表面硬度有關。這里涉及到三種硬度計。