真空熱處理是指將模具零件置于真空熱處理設備中，進行加熱、保溫和冷卻的工藝方法。其是當前先進的模具熱處理技術之一。隨著模具質量的要求越來越高，一般熱處理難以達到技術要求，模具經真空熱處理后，表面不氧化、不脫碳，淬火畸變小，表面硬度均勻，使用性能得到提高，模具使用壽命普遍增加，一般能提高30%以上，另外真空熱處理可將加工余量（磨削或拋光）縮小1/3~1/2，從而提高了生產效率、降低了模具制造成本。真空熱處理尤其適合于高精密、要求尺寸和性能穩定的模具。模具真空熱處理技術有：真空淬火、真空回火、真空滲碳、真空滲氮、真空滲金屬等。

1.真空熱處理工藝參數

（1）真空度

真空度直接影響到模具表面的粗糙度，從而影響表面質量性能，為防止模具表面的合金元素的揮發，應選擇合理的真空度。

（2）預熱溫度

當真空熱處理的加熱溫度為1000~1100℃時，在800~850℃進行一次預熱；當加熱溫度超過1200℃時，形狀簡單的模具可在850℃進行一次預熱，較大或復雜的模具則應在500~600℃和800~850℃進行兩次預熱。

（3）保溫

1）加熱溫度。真空淬火的加熱溫度一般取鹽浴爐和空氣爐的下限。真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規熱處理時的加熱溫度相同。

2）保溫時間。通常情況下真空加熱時間為鹽浴爐的6倍，空氣爐的2倍，經驗公式為τ＝KB＋T，其中，τ為加熱保溫時間（min），K為保溫時間系數（min/mm），B為模具的有效厚度（mm），T為時間裕量（或稱固定時間）（min）。

2.模具的真空淬火

（1）預熱