離子滲氮后零件的“腫脹”實際上是零件尺寸變化的一種表現形式。尺寸變化是由于滲氮時工件表面吸收了大量的氮原子，生成各種氮化物或工件表層原始組織的晶格常數增大所致，宏觀上則表現為表層體積的略微增加。

離子滲氮后零件的“腫脹”是一種普遍現象。各種氮化方法（氣體氮化、液體氮化和離子氮化）處理后的零件或多或少總會存在一定的“腫脹”。但應該說明的是：離子滲氮后零件的“腫脹量”較其它氮化方法要小。這是因為：離子滲氮中的“陰極濺射”有使尺寸縮小的作用，因而抵消了一部分滲氮“腫脹量”。

1、影響離子滲氮“腫脹”的因素

離子滲氮后尺寸的脹大量取決于零件表層的吸氮量。因而，影響吸氮量的因素均是影響“腫脹”的因素。

影響“腫脹”的因素主要有：材料中合金元素的含量、滲氮溫度、滲氮時間、滲氮氣氛中的氮勢等。

材料中合金元素含量越高，零件氮化后的“腫脹”越大。

滲氮溫度愈高、滲氮時間愈長，零件氮化后的“腫脹”愈大。

滲氮氣氛的氮勢越高，零件氮化后的“腫脹”愈大。

2、“腫脹”的防治辦法

前以述及，“腫脹”是離子氮化過程中一種必然的現象，因此要徹底杜絕“腫脹”是不現實的。我們此處所說的“防治”主要有兩種含義：一是盡可能減小“腫脹”量；二是在“腫脹”不可避免的情況下，掌握“腫脹”規律，省去氮化后的再次加工。

（1）減小“腫脹”的方法