離子滲氮爐是利用低真空輝光放電原理，使氮、氫離子轟擊工件表面而升溫，并使氮離子滲入工件表面的化學熱處理設備。根據爐體的形狀，離子滲氮爐可分為立式爐、井式爐和臥式爐等。其中以前兩種應用較多。

離子滲氮爐由爐體、真空系統、電源系統、供氣系統、冷卻系統、溫度及真空度測量系統等部分組成。對于多爐體或組合生產線，還有電源切換系統或機械移動結構。多爐體設備是一套電源控制系統和兩套爐體形成“一拖二”設備，在第一臺爐內進行滲氮的時候，對第二臺爐進行裝爐；當第一臺爐離子滲氮結束進行冷卻時，將電源切換到第二臺爐進行離子滲氮。這樣兩套爐體交替處理，輪流冷卻，可以縮短生產周期。

與水冷式爐體相比，外輔助加熱式離子氮化爐保溫式爐體有以下的優點：

1、新一代外輔助加熱式離子氮化爐爐體結構簡單合理，節電23.5%。

2、升溫速度快，速度提升30%。

• 新一代變頻式全逆變脈沖電源

采用全逆變大功率脈沖電源，頻率為20KHZ，最大功率 可達300KW，是目前國內離子滲氮爐最大功率的全逆變脈沖電源。

• 多點溫度測控系統

新一代外輔助加熱式離子氮化爐爐內使用多支熱電偶進行實時監控，實現爐內空間溫度和工件溫度互補、互制的控制模式，進一步提高外輔助加熱式離子氮化爐爐內空間的溫度均勻性。